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Nor-Cal Products 提供适用于各种尺寸、压力和应用的真空隔离阀。我们的气动提升阀因其坚固的设计和边缘焊接的 AM 350 不锈钢波纹管而成为半导体设备的标准配置，可提供全开电导。铜密封阀盖和手动全金属阀门可用于 UHV 应用。

N 系列和 Genesis 模块化阀门专为需要百万次循环可靠性、小尺寸和低成本软启动和加热选项的半导体设备而设计。此外，Nor-Cal 提供传统的线性以及低颗粒摆式闸阀，用于隔离高真空泵和 UHV 室。我们还提供一系列泄漏阀、手动蝶阀以及气动和手动球阀。

提升阀

我们的提升阀完全打开以实现高传导性，并在阀门处于打开位置时防止波纹管污染，从而减少阀门循环时的颗粒污染。我们的阀体由 304 不锈钢模压成型，以消除尖锐的内角并提高电导率。阀门经过电解抛光，以减少释气和更好的耐腐蚀性。焊接波纹管由 AM-350 不锈钢制成，具有出色的耐腐蚀性和柔韧性。它们设计有额外的部分，以延长使用寿命。

球阀

球阀是一种低成本、手动或气动操作的直通式隔离装置。它们简单、坚固的设计在“脏”应用中提供了高可靠性。它们通常用于腔室或真空泵下游的 MOCVD 和 CVD 设备，以隔离陷阱或减排工具。机加工不锈钢阀体和 PTFE 阀座使这些阀门非常适用于腐蚀性环境。其他应用包括真空和其他设施要求。BVM-0751-NW-L

闸阀

线性闸阀

我们的线性闸阀具有超薄外形，这使其非常适合空间有限的应用，并且其较小的体积可减少释气并加快抽气速度。较大尺寸的执行器具有独特的功能，可以抑制门打开时可能出现的振动。这使得这些阀门非常适用于半导体和其他振动敏感过程。

全金属阀门

Nor-Cal Products 的可烘烤全金属密封角阀旨在用于极端温度无法使用我们的弹性体密封阀的 UHV 或低温应用。这些阀门已获准用于光束线设施，其工作温度范围为 -250°C 至 400°C。

N 系列提升阀

N 系列提升阀采用创新、紧凑的设计，MTBF 为 300 万次循环。波纹管密封阀杆和电抛光不锈钢阀体即使在最苛刻的应用中也能提供较长的使用寿命。标准气动驱动是常闭的。N 系列阀门有直角或直角式阀体类型，带有管端、NW 法兰和 CF 可旋转法兰。可选的空气电磁阀有多种电压可供选择，可以在工厂安装或作为单独的套件订购，以便于现场安装。

泄漏阀

泄漏阀用于控制气体进入高真空和超高真空系统。它们采用光学平面蓝宝石提升阀芯和金属密封座，允许烘烤温度达到 450oC。

蝶阀

手动蝶阀

这些 FKM O 型圈密封阀是波纹管密封闸阀的低成本替代方案。直角回转驱动、占地面积小和尽可能短的气路使手动蝶阀成为许多应用的首选。