产品展示

Entegris液体过滤系列包括知名品牌，如Wafergard、Guardian、Protego、Intercept、Microgard、Quickchange，Optimizer、Impact、Fluorogard、Processgard、Planargard和Durapore。Entegris过滤器可为半导体应用中的工艺液体提供污染控制，如CMP浆料、湿法蚀刻和清洁酸、光化学和去离子水。所有这些过程都需要先进行过滤，以在到达晶片或基板表面之前去除引起缺陷的颗粒和附聚物。

Entegris产品系列包括滤芯过滤器和一次性过滤器，具有比较先进的连接技术。Integra提供技术支持，帮助您找到适合您应用的产品。膜类型包括UPE、含氟聚合物、PVDF、PES和聚丙烯。Entegris是膜表面改性方面的专家，可为您的化学和应用创建一个过滤器，并且停机时间比较短。

2005年Entegris,Inc.和Mykrolis Corporation合并，Mykrolis气体过滤和净化：在过滤和净化空气、散装气体或特定气体时，Entegris拥有满足您需求的专业知识，技术和解决方案。无论是使用点还是散装气体输送、室内或晶圆、洁净室或工具，Entegris都有长期提供高性能气体和空气净化和过滤产品的历史，以满足您的需求。